半导体晶圆厂真空泵润滑油倒吸污染工艺腔，吸油棉片如何快速清理避免颗粒产生？

问：半导体晶圆厂真空泵润滑油倒吸污染工艺腔，吸油棉片如何快速清理避免颗粒产生？答：半导体晶圆制造中，真空泵用于维持工艺腔真空，若泵油倒吸进入腔体，会污染晶圆并可能生成颗粒缺陷。吸油棉片采用低发尘材料制成，符合洁净室标准，可安全用于工艺设备内部清理。某12英寸晶圆厂在干法刻蚀工艺中发生真空泵油倒吸，少量润滑油进入工艺腔底部。设备工程师在穿戴洁净服后，使用专用低发尘吸油棉片小心擦拭腔体内壁，吸油棉片吸附了泵油且未产生额外颗粒。擦拭后腔体经清洗和颗粒检测，恢复工艺要求。此次事件后，该厂在真空泵排气端加装吸油棉枕作为二次防护，防止油雾进入工艺气体管路。